Forschungsinfrastruktur -
Materials
Reinraum der Klasse 6 – zertifiziert gemäß ISO 14644
Zertifizierter Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen und neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren
Reinraum der Klasse 6 - zertifiziert gemäß ISO 14644, Foto: JOANNEUM RESEARCH/Schwarzl
Welche Kennzahlen hat der Reinraum am Standort Weiz?
Reinheitsgrad: max. 35.200 Partikel pro Kubikmeter, Größe ≥ 0,5 µm und max. 8.320 Partikel, Größe ≥ 1 µm pro Kubikmeter und max. 293 Partikel ≥ 5 µm
- Luftwechsel Primärluft: 12faches Raumvolumen / h
- Luftumwälzung über FFUs: 40 – 60faches Raumvolumen / h
- Temperatur: Der Sollwert für die Raumtemperatur kann benutzerspezifisch eingestellt werden. Die derzeitige Vorgabe liegt bei 22°C und ist im Bereich von +/- 1°C zu halten.
- Relative Luftfeuchte: Die Vorgaben sind ebenfalls benutzerspezifisch. Der Sollwert liegt derzeit bei 40% relative Luftfeuchte und ist regelungstechnisch mit einer Abweichung von +/- 5% realisierbar.
Wir bieten folgende Leistungen und Methoden:
- Mikro-Nanostrukturen, Mastering, Analytik, Machbarkeitsstudien, Mikroelektronik Versuchsreihen bis 6 Zoll
- Nanoimprint-Lithografie im Batchprozess (bis 4 x 4 inch²) unter Reinraumbedingungen (UV-NIL und Hot-Embossing NIL)
- Oberflächenmorphologie mittels Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
- Elektronenstrahl-Lithografie
- Foto-Lithografie
- Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu
- Oberflächenmodifikation mittel O2/N2/NH3 -Plasma, UV
- Modulare Pilotanlage inkl. Glovebox-Cluster
Kontakt
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Standort
MATERIALS –
Institut für Sensorik, Photonik und Fertigungstechnologien
Franz-Pichler-Straße 30,
8160
Weiz
